यह उच्च निर्वात वातावरण में एक प्रकार का आसवन है, सामग्री आणविक आंदोलन मुक्त पथ के अंतर के लिए, गर्मी संवेदनशील सामग्री या उच्च क्वथनांक सामग्री आसवन और शुद्धिकरण प्रक्रिया में किया गया था। लघु पथ आसवन मुख्य रूप से रासायनिक, दवा में उपयोग किया जाता है, पेट्रोकेमिकल, मसाले, प्लास्टिक, तेल और अन्य क्षेत्र।